Trioptics μPhase®系列高精度干涉儀 用于測量高精度要求的光學零件，材料包括玻璃、塑料、金屬、陶瓷等，非接觸式測量可保證在不傷害光學表面的前提下對光學表面及波前進行最精確的評價。μPhase®系列干涉儀得益于該設備緊湊與模塊化的設計理念，使它們得到靈活、高效的使用。μPhase®系列干涉儀的各個組成部件相對獨立，相互兼容，可靈活組合成有針對性應用的強大干涉計量系統。

產品特點

*模塊化設計，結構緊湊

*測量適用性強，保證可以在各種工作與生產環境中進行檢測

*可測量反射率0.3%-100%的光學表面，覆蓋范圍廣

*數字化測量，避免人為損壞

*完美的結構，全面的軟件，為生產及實驗室提供支持

*泰曼格林型/菲索型組合或用于校準樣品的第二個相機，為μPhase®系列干涉儀的使用提供了便利

產品型號

● μPhase® 500

● μPhase® 1000

● μPhase® SPHERO UP

● μPhase® PLANO UP

● μPhase® Plano Down

● μPhase® Vertical

● μPhase® UNIVERSAL 100

技術規格

 典型應用

μPhase® SPHERO UP， μPhase® PLANO UP，μPhase® Plano Down

*用于測量不同的平面和球面光學零件

*操作直觀而簡單，適合非專業人士操作

*測量范圍：μPhase® Plano Down：平面φ≤2 mm 至 150 mm  

                   μPhase® PLANO UP：平面φ≤2 mm 至 100 mm

                   μPhase® SPHERO UP：球面，曲率半徑（凸面）2mm—225mm，直徑最大55mm；球面，曲率半徑（凹面）-3mm—-570mm

*結構緊湊，占用空間下，可靈活的與產線結合

μPhase® Vertical

*適用于廠房、車間、實驗室的標準干涉儀檢測系統

*立式檢測，結構緊湊，占地面積小

*標配一個沿Z軸方向電動平移的平臺，可選配第二個平臺

*傾斜及X/Y平移精調

*可完成各種類型的反射與透射檢測

*可采用透射法檢測雙膠合透鏡

*凹面與凸面球面鏡的檢測范圍：標準曲率半徑范圍：1mm-225mm，直徑最大55mm（采用50mm物鏡μLens PLANO 50）

*集成半徑測量單元

*可選CGH，用于測量非球面、柱面、輪胎面等

*曲率半徑實現一鍵式自動測量

*Z軸方向設置導軌電機，電動升降

μPhase® UNIVERSAL 100

*用于測量平面和球面的4英寸干涉檢測系統

*球面測量范圍：凹面曲率半徑最大-3000mm（提供相應導軌）

*平面測量范圍：最大98mm

*半徑測量系統集成導軌和光柵尺

*適合長焦光學零件和系統的檢測

*與市場上通用的4英寸標準球面物鏡相兼容

*可選旋轉對稱非球面的檢測配件，檢測范圍10mm-80mm，CGH檢測輪胎面、柱面等