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µPhase® UNIVERSAL 100 臥式干涉儀

*用于測量平面和球面的4英寸干涉檢測系統

*適合長焦光學零件和系統的檢測

*鏡頭口徑:50mm、100mm或150mm
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Product Details

產品特點


*用于測量平面和球面的4英寸干涉檢測系統

*適合長焦光學零件和系統的檢測

*鏡頭口徑:50mm、100mm或150mm

*平面測量范圍:最大98mm

*半徑測量系統集成導軌和光柵尺

*球面測量范圍:凹面曲率半徑最大-3000mm(提供相應導軌)

*與市場上通用的4英寸標準球面物鏡相兼容

*可選CGH,用于測量非球面、柱面、輪胎面等

 

產品參數


產品型號

µPhase® UNIVERSAL 100  

用途 研發
被測樣品類型 平面、球面、環曲面、非球面、柱面
被測樣品尺寸(測量范圍) 最大Ф150mm、樣品大小取決于類型和測試鏡頭
被測樣品最大重量 1.5kg
校準工具 手動傾斜臺,手動XY工作臺,手動Z軸
半徑測量范圍 根據測試目標和半徑測量軌道的長度,最長可達2m,集成半徑測量單元,特別是很長的半徑測量
半徑測量精度 30um
尺寸(高*寬*深) 500mm*2500mm*400mm(寬度取決于軌道的長度) 
重量 30kg(取決于配置) 
類型 臺式設備
可選項 可選CGH,用于測量非球面,柱面或曲面,可選附加功能,例如多個口徑, Waver、刀具偏置、透射法測量

 

產品中心

PRODUCT CENTER