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OptoFlat® 高精度低相干干涉儀

OptoFlat? 高精度低相干干涉儀是行業(yè)內獨有的低成本、高穩(wěn)定性以及結構緊湊的平面專用低相干干涉儀。其采用低相干性長壽命633nm的LED光源,波長帶寬1nm。在測量透明材質的雙面平行光學元件的單個表面面型時不會受到其他表面的干涉條紋影響,所以OptoFlat可以排除來自多個表面的干擾,直接測得目標表面的面型精度。對于測量實心玻璃棱鏡的前表面面型時也可以抑制其他反射面的影響。
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Product Details

OptoFlat® 高精度低相干干涉儀是行業(yè)內獨有的低成本、高穩(wěn)定性以及結構緊湊的平面專用低相干干涉儀。其采用低相干性長壽命633nm的LED光源,波長帶寬1nm。在測量透明材質的雙面平行光學元件的單個表面面型時不會受到其他表面的干涉條紋影響,所以OptoFlat可以排除來自多個表面的干擾,直接測得目標表面的面型精度。對于測量實心玻璃棱鏡的前表面面型時也可以抑制其他反射面的影響。

 

產品特點


*自動光強調節(jié)與FlexFlatTM傳輸平臺相結合,減少了操作人員在測量時的干預

*無需反復測量,無需掃描測試位置

*與其他基于激光的Fizeau干涉儀不同,OptoFlat集成了長壽命的LED光源

*內置專有的PurePhaseTM方法提升了在不穩(wěn)定的振動環(huán)境中的干涉相位測量

*校準過的低畸變1X和4X光學放大率的比例尺準確的測試面積尺寸,可自動標記或用戶定義有效通光孔徑,便于判定測試合格/不合格

*簡單易用的測試軟件界面便于光學元件的批量測量,使任何人只要稍加培訓就可以輕松測試多樣的光學元件,專業(yè)的樣品承載臺可快速批量測試每個零件。非接觸式傳感開始   測量并能快速分析判斷產品合格/不合格

*設計簡潔,占地小

 

產品應用


*測量拋光光學表面的面型和透射波前

 

技術規(guī)格


放大倍率

1X放大倍率

4X放大倍率

有效測量區(qū)域

Φ101.6mm

Φ25.4mm

相機分辨率

1200×1200pixels

1920×1200pixels

相機頻率

40Hz

空間采樣

88μm/pixels

22μm/pixels

畸變

0.089%

0.05%

景深

+/-12.6mm

+/-2.2mm

RMS測量精度

0.1nm

RMS重復性

0.03nm

波長

633nm,1nmFWHM

相干深度

300μm

工作距離

90mm

傾斜調整范圍

+/-2°

平移調整范圍

+/-8mm

樣品承載臺

175×175mm

軸向移動范圍

65mm連續(xù)移動,100mm拆掉墊圈

最大被測樣品

100mm厚,5kg重

產品中心

PRODUCT CENTER