OptoFlat® 高精度低相干干涉儀
Product Details
OptoFlat® 高精度低相干干涉儀是行業(yè)內(nèi)獨(dú)有的低成本、高穩(wěn)定性以及結(jié)構(gòu)緊湊的平面專用低相干干涉儀。其采用低相干性長(zhǎng)壽命633nm的LED光源,波長(zhǎng)帶寬1nm。在測(cè)量透明材質(zhì)的雙面平行光學(xué)元件的單個(gè)表面面型時(shí)不會(huì)受到其他表面的干涉條紋影響,所以O(shè)ptoFlat可以排除來自多個(gè)表面的干擾,直接測(cè)得目標(biāo)表面的面型精度。對(duì)于測(cè)量實(shí)心玻璃棱鏡的前表面面型時(shí)也可以抑制其他反射面的影響。
產(chǎn)品特點(diǎn)
*自動(dòng)光強(qiáng)調(diào)節(jié)與FlexFlatTM傳輸平臺(tái)相結(jié)合,減少了操作人員在測(cè)量時(shí)的干預(yù)
*無需反復(fù)測(cè)量,無需掃描測(cè)試位置
*與其他基于激光的Fizeau干涉儀不同,OptoFlat集成了長(zhǎng)壽命的LED光源
*內(nèi)置專有的PurePhaseTM方法提升了在不穩(wěn)定的振動(dòng)環(huán)境中的干涉相位測(cè)量
*校準(zhǔn)過的低畸變1X和4X光學(xué)放大率的比例尺準(zhǔn)確的測(cè)試面積尺寸,可自動(dòng)標(biāo)記或用戶定義有效通光孔徑,便于判定測(cè)試合格/不合格
*簡(jiǎn)單易用的測(cè)試軟件界面便于光學(xué)元件的批量測(cè)量,使任何人只要稍加培訓(xùn)就可以輕松測(cè)試多樣的光學(xué)元件,專業(yè)的樣品承載臺(tái)可快速批量測(cè)試每個(gè)零件。非接觸式傳感開始 測(cè)量并能快速分析判斷產(chǎn)品合格/不合格
*設(shè)計(jì)簡(jiǎn)潔,占地小
產(chǎn)品應(yīng)用
*測(cè)量拋光光學(xué)表面的面型和透射波前
技術(shù)規(guī)格
放大倍率 |
1X放大倍率 |
4X放大倍率 |
有效測(cè)量區(qū)域 |
Φ101.6mm |
Φ25.4mm |
相機(jī)分辨率 |
1200×1200pixels |
1920×1200pixels |
相機(jī)頻率 |
40Hz |
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空間采樣 |
88μm/pixels |
22μm/pixels |
畸變 |
0.089% |
0.05% |
景深 |
+/-12.6mm |
+/-2.2mm |
RMS測(cè)量精度 |
0.1nm |
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RMS重復(fù)性 |
0.03nm |
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波長(zhǎng) |
633nm,1nmFWHM |
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相干深度 |
300μm |
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工作距離 |
90mm |
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傾斜調(diào)整范圍 |
+/-2° |
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平移調(diào)整范圍 |
+/-8mm |
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樣品承載臺(tái) |
175×175mm |
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軸向移動(dòng)范圍 |
65mm連續(xù)移動(dòng),100mm拆掉墊圈 |
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最大被測(cè)樣品 |
100mm厚,5kg重 |
產(chǎn)品中心
PRODUCT CENTER