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三維激光加工設備
可搭載納秒,皮秒和飛秒激光器,覆蓋多種波長,該設備結合三維運動平臺,可廣泛應用于激光鉆孔,激光標刻,激光切割,雕刻成型等微加工領域。
SDM-1型晶圓劃片機
特有的集成光學與激光設計、可對2-6寸規格的多種 半導體材料和基片進行激光劃片 。
復雜曲面高功率皮秒激光五軸微加工系統
采用超短脈沖激光的3D形貌加工自動機床,帶有光學3 軸+A/C2軸的5軸聯動
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