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三維激光加工設(shè)備

可搭載納秒，皮秒和飛秒激光器，覆蓋多種波長，該設(shè)備結(jié)合三維運動平臺，可廣泛應(yīng)用于激光鉆孔，激光標(biāo)刻，激光切割，雕刻成型等微加工領(lǐng)域。
SDM-1型晶圓劃片機

特有的集成光學(xué)與激光設(shè)計、可對2-6寸規(guī)格的多種半導(dǎo)體材料和基片進行激光劃片。
復(fù)雜曲面高功率皮秒激光五軸微加工系統(tǒng)

采用超短脈沖激光的3D形貌加工自動機床，帶有光學(xué)3 軸+A/C2軸的5軸聯(lián)動

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