LUPHOScan 600/850 HD 大型光學工件精密非接觸式輪廓檢測儀是基于世界著名的 LUPHOScan HD 的測量原理開發的，為超大型復雜光學原件提供穩定的非接觸計量解決方案。我們的計量儀器專家在聽取眾多光學加工合作者對測量的需求和建議的基礎上，深刻理解設計一種能為大型光學工件提供高精度、穩定可靠的測量數據的輪廓檢測儀的重要性后，成功開發出滿足客戶需求的儀器。

產品優勢

顛覆性的測量能力：

• 高精度：

    高精度和高重復性的面形誤差測量

    精度可達<λ/20 （PV99i），RMS最小可達5 nm*

• 測量范圍大，靈活性極高：
    測量口徑范圍可從5mm 到850mm，測量高度可達210mm

• 高密度測量點：
    測量點數高達600萬，以用于精確分析大口徑光學元件的中頻面形誤差

• 自由曲面測量
    對回轉非對稱面可測量整個圓周的最大斜度變化到±8（徑向斜度到90°）

• 幾乎能測量所有的材料
    透明、鏡面、不透明、拋光或磨光面

為保證測量精度和重復性所采用的優化技術：

• 大理石框架結構
    采用材質分布均勻的大理石框架結構，可以很好地消除熱膨脹所引起的誤差，

    外加優化設計將振動造成的測量誤差減到最小。

• 環境變化實時誤差補償
    四個溫度變化測量傳感器和一個氣壓變化傳感器

• 低系統噪聲確保了高測量精度
    采用TMC設計的主動抗振平臺，以獲得最佳的隔振效果

• 自動調心調平
    全自動測量，獲得穩定而精確的測量結果

技術指標

準確性和再現性研究

為了證明 LUPHOScan HD 的準確性和再現性，在無負載和有150kg負載的情況下，分別對 Φ 600 mm 的參考平晶面在兩個不同的轉動方位上進行測量。

測試數據顯示了當大平晶旋轉到不同方位時面形誤差PV99i值仍然很穩定。

Φ 600 mm的光學參考平晶：
  • 0°（無負載）- 303 nm, 57 nm RMS
  • 120°（無負載）-335 nm, 58 nm RMS
  • 0° (150 kg ft 4k) - 294 nm, 60 nm RMS
  • 120°（150kg 負載）-350 nm, 69 nm RMS