非接觸式三維光學輪廓儀 LUPHOScan 260/420 HD
Product Details
LUPHOScan HD 系列可對高偏差非球面和自由曲面等具有挑戰性的表面的半徑和不規則度進行最高精度的非接觸式三維輪廓測量。LUPHOScan HD的穩定性是行業領先的,即使在一些嚴苛的環境下,也能保證對非球面和自由曲面進行超高精度地快速輪廓測量,新一代LUPHOScan HD三維輪廓儀是業界首款在高達 90°的采樣斜率上精度優于 50 nm (3σ) 的儀器。
先進的光學計量
• UPHOScan設計用于對旋轉對稱和非旋轉對稱表面進行精密的非接觸式3D形狀測量,如非球面、球面、平面和自由曲面。
該系統的主要優勢包括測量速度快,對不常見的表面形狀(如平頂或有拐點的輪廓)具有高度靈活性,最大測量直徑可達420mm。
• 前沿技術
LUPHOScan是一個基于MWLI®技術(多波長干涉測量法)的掃描式測量系統。
MWLI®傳感器技術可以測量各種不同的表面類型,如透明材料、金屬零件和磨砂表面。
技術指標
再現性 |
測量直徑 |
測量陡度 | 噪聲 |
高精度 ≤ ± 50nm(3σ) (PV99i) |
最大 420mm |
最大 90° |
低噪聲 ≤ ± 50nm(3σ) (RMS) |
產品優勢
• 建立精密光學的測量標準:
• 分析任何旋轉對稱的表面:
非球面、球面、平面和自由曲面
• 測量的靈活性:
局部表面、環形光學面、矩形表面、具有衍射結構的表面、錐面
• 完整的透鏡幾何特征 (LUPHOSwap):
透鏡厚度、楔形誤差、面間偏心誤差、透鏡安裝定位
•大的球面偏差:
測量Pancake面或鷗翼面和有拐點的輪廓
• 高精度-表面陡度可達90°:
是測量陡峭和小型非球面元件的理想選擇,包括手機鏡頭模具
• 幾乎所有的材料:
透明的、鏡面的、不透明的、拋光的或銑磨的
• 優異的測量穩定性:
Power 變化 <±20 nm (3σ),PV 變化<±5 nm (3σ)
• 高速測量:
1:45分鐘 (∅= 30 mm, Roc = 60 mm, 100 points / mm²)
3:45分鐘 (∅ = 130 mm, Roc = 150 mm, 50 points / mm²)
功能強大的軟件模塊
• LUPHOSoft 軟件模塊可提供對復雜的或不連續光學元件的直接測量。
這些模塊能夠對局部透鏡、環形透鏡、錐透鏡、錐面鏡、非球面衍射透鏡和自由曲面進行3D面形測量。
每個模塊都有包含一個復雜的數據分析工具。所有的標準數據分析選項都可以使用這些模塊,這些模塊也適用于每一種可以在LUPHOScan系統上測試的材料。
系統靈活
•粗糙表面的測量
獨特的MWL®技術可以測量粗糙的表面,如銑磨透鏡。該系統可以用同一臺儀器測量一塊鏡片制造過程中的所有狀態,從粗坯到精密拋光的鏡片。
•分析各種特殊形狀
盡管這些系統被設計用來測量旋轉對稱的部件,但如果與非球面、球面或平面形狀的偏差很小,它們也可以測量自由曲面的元件。這方面的例子包括橢圓型X射線反射鏡或光束成形元件。
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