LUPHOScan HD 系列可對(duì)高偏差非球面和自由曲面等具有挑戰(zhàn)性的表面的半徑和不規(guī)則度進(jìn)行最高精度的非接觸式三維輪廓測(cè)量。LUPHOScan HD的穩(wěn)定性是行業(yè)領(lǐng)先的，即使在一些嚴(yán)苛的環(huán)境下，也能保證對(duì)非球面和自由曲面進(jìn)行超高精度地快速輪廓測(cè)量，新一代LUPHOScan HD三維輪廓儀是業(yè)界首款在高達(dá) 90°的采樣斜率上精度優(yōu)于 50 nm (3σ) 的儀器。

先進(jìn)的光學(xué)計(jì)量

• UPHOScan設(shè)計(jì)用于對(duì)旋轉(zhuǎn)對(duì)稱和非旋轉(zhuǎn)對(duì)稱表面進(jìn)行精密的非接觸式3D形狀測(cè)量，如非球面、球面、平面和自由曲面。
    該系統(tǒng)的主要優(yōu)勢(shì)包括測(cè)量速度快，對(duì)不常見(jiàn)的表面形狀（如平頂或有拐點(diǎn)的輪廓）具有高度靈活性，最大測(cè)量直徑可達(dá)420mm。

• 前沿技術(shù)
    LUPHOScan是一個(gè)基于MWLI®技術(shù)（多波長(zhǎng)干涉測(cè)量法）的掃描式測(cè)量系統(tǒng)。
    MWLI®傳感器技術(shù)可以測(cè)量各種不同的表面類型，如透明材料、金屬零件和磨砂表面。

技術(shù)指標(biāo)

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

• 建立精密光學(xué)的測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)：

  • 分析任何旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的表面：

    非球面、球面、平面和自由曲面

  • 測(cè)量的靈活性：

    局部表面、環(huán)形光學(xué)面、矩形表面、具有衍射結(jié)構(gòu)的表面、錐面

  • 完整的透鏡幾何特征 （LUPHOSwap）：

    透鏡厚度、楔形誤差、面間偏心誤差、透鏡安裝定位

  •大的球面偏差：

    測(cè)量Pancake面或鷗翼面和有拐點(diǎn)的輪廓

  • 高精度-表面陡度可達(dá)90°:
    是測(cè)量陡峭和小型非球面元件的理想選擇，包括手機(jī)鏡頭模具

  • 幾乎所有的材料:
    透明的、鏡面的、不透明的、拋光的或銑磨的

  • 優(yōu)異的測(cè)量穩(wěn)定性:
    Power 變化 <±20 nm （3σ），PV 變化＜±5 nm （3σ）

  • 高速測(cè)量:
      1:45分鐘 (∅= 30 mm, Roc = 60 mm, 100 points / mm²)
      3:45分鐘 (∅ = 130 mm, Roc = 150 mm, 50 points / mm²)

功能強(qiáng)大的軟件模塊

• LUPHOSoft 軟件模塊可提供對(duì)復(fù)雜的或不連續(xù)光學(xué)元件的直接測(cè)量。
    這些模塊能夠?qū)植客哥R、環(huán)形透鏡、錐透鏡、錐面鏡、非球面衍射透鏡和自由曲面進(jìn)行3D面形測(cè)量。
    每個(gè)模塊都有包含一個(gè)復(fù)雜的數(shù)據(jù)分析工具。所有的標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)分析選項(xiàng)都可以使用這些模塊，這些模塊也適用于每一種可以在LUPHOScan系統(tǒng)上測(cè)試的材料。

系統(tǒng)靈活

•粗糙表面的測(cè)量

    獨(dú)特的MWL®技術(shù)可以測(cè)量粗糙的表面，如銑磨透鏡。該系統(tǒng)可以用同一臺(tái)儀器測(cè)量一塊鏡片制造過(guò)程中的所有狀態(tài)，從粗坯到精密拋光的鏡片。

•分析各種特殊形狀

    盡管這些系統(tǒng)被設(shè)計(jì)用來(lái)測(cè)量旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的部件，但如果與非球面、球面或平面形狀的偏差很小，它們也可以測(cè)量自由曲面的元件。這方面的例子包括橢圓型X射線反射鏡或光束成形元件。