Coherent AZURE NX 深紫外光激光器
緊湊型下一代固態激光器在平臺中提供低噪聲、266 nm 連續波，采用易于集成到半導體行業的工業環境的設計。
Coherent Azure NX 具有單頻操作和絕對波長穩定功能。 它通過 LAN 或 web GUI 進行全自動操作。其融合了 1 W 的深紫外光、窄線寬和全天候可靠性，適用于要求嚴苛的應用。
Coherent Azure NX 具有單頻操作和絕對波長穩定功能。 它通過 LAN 或 web GUI 進行全自動操作。其融合了 1 W 的深紫外光、窄線寬和全天候可靠性，適用于要求嚴苛的應用。
Product Details
緊湊型下一代固態激光器在平臺中提供低噪聲、266 nm 連續波，采用易于集成到半導體行業的工業環境的設計。
Coherent Azure NX 具有單頻操作和絕對波長穩定功能。 它通過 LAN 或 web GUI 進行全自動操作。其融合了 1 W 的深紫外光、窄線寬和全天候可靠性，適用于要求嚴苛的應用。
| 型號名稱 | 輸出功率 (W) | 線寬 (kHz) | 指向（主動穩定型）（urad） | M2 |
RMS 噪聲 (%) （10 Hz 至 500 MHz） |
| Azure NX 266-1000 | 1 | < 500 | 20 | < 1.3 | < 0.5 |
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