量產型波前測量儀 WaveMaster® PRO2
量產型波前測量儀 WaveMaster? PRO系列產品是為了適應波前質量大批量檢測需求而研發的兩款儀器。可自行設置合格標準，并根據該標準自動判定合格和不合格。WaveMaster? PRO 2和WaveMaster? PRO 2 Wafer配備托盤系統，實現對單個小鏡片的大批量檢測。WaveMaster? PRO 2 Wafer則可以對晶圓級鏡頭的波前進行快速檢測。
Product Details
量產型波前測量儀 WaveMaster® PRO系列產品是為了適應波前質量大批量檢測需求而研發的兩款儀器。可自行設置合格標準，并根據該標準自動判定合格和不合格。
WaveMaster® PRO 2和WaveMaster® PRO 2 Wafer配備托盤系統，實現對單個小鏡片的大批量檢測。WaveMaster® PRO 2 Wafer則可以對晶圓級鏡頭的波前進行快速檢測。
產品型號及技術指標
| 產品型號 |
WaveMaster® PRO 2 |
WaveMaster® PRO 2 Wafer |
| 應用范圍 |
批量測量單個小鏡片的波前質量 |
批量測量晶圓級鏡片的波前質量 |
| 測量模式 | 透射式 | 透射式 |
| 空間分辨率 | 138×138 | 138×138 |
| 測量精度 | <λ/20 (RMS) | <λ/20 (RMS) |
| 測量重復性 | <λ/200 (RMS) | <λ/200 (RMS) |
| 動態范圍 | 2000λ | 2000λ |
| 測量頻率 | 12Hz | 12Hz |
| 測量時間 | <3秒/顆 | <3秒/顆 |
| 樣品口徑 | 0.5mm...14mm | 0.5mm...14mm |
| 樣品焦距 | -12mm...50mm | -12mm...50mm |
| 光源波長 | 532nm | 532nm |
| 樣品夾持器 |
托盤式，自動定位多孔位（最多100個） |
托盤式，自動定位晶圓托盤（4″/6″/8″）自動判定晶圓方向 |
| 每個托盤的鏡頭 | 最多148顆① | ——— |
| 鏡頭托盤更換時間 | 10s | 10s |
| 晶圓托盤更換時間，包括校準 | ＜2min | ＜2min |
| 新鏡頭設計的設置時間 | ＜5min | ＜5min |
產品中心
PRODUCT CENTER
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