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為什么說大口徑偏心儀是光刻機(jī)物鏡裝調(diào)的精確之選？

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，光刻機(jī)物鏡的裝調(diào)精度直接關(guān)系到芯片的質(zhì)量和產(chǎn)量。德國全歐光學(xué)（TRIOPTICS）的OptiCentric®UP系列，以其卓越的大口徑中心偏差測量技術(shù)，成為了光刻機(jī)物鏡裝調(diào)的精確之選。

一、精確度，從中心偏差開始
OptiCentric®UP系列以其±0.2μm或±2″的中心偏差測量精度，確保了物鏡組件的精確定位。這一精度，對于追求極致性能的光刻機(jī)來說，是不可或缺的。無論是400mm、600mm還是800mm的樣品直徑，OptiCentric®UP都能提供相應(yīng)的型號，滿足不同規(guī)模光刻機(jī)的需求。

二、重復(fù)精度，確保一致性
在重復(fù)精度方面，OptiCentric®UP同樣表現(xiàn)出色，±0.1μm或±1″的重復(fù)精度，保證了物鏡在多次使用中的穩(wěn)定性和可靠性。這對于保持生產(chǎn)過程中的一致性至關(guān)重要，確保了每一片芯片的質(zhì)量和性能。

三、多功能性，一站式解決方案
OptiCentric®UP不僅僅是一個(gè)測量工具，它還集成了光學(xué)傳遞函數(shù)(MTF)測量、中心厚度測量、焦距測量等多種功能，為光刻機(jī)物鏡的全面性能評估和優(yōu)化提供了一站式解決方案。

四、大口徑高負(fù)載，適應(yīng)各種挑戰(zhàn)
面對光刻機(jī)物鏡的大口徑和高負(fù)載挑戰(zhàn)，OptiCentric®UP以其最大1200KG的樣品重量和1500mm的樣品高度，展現(xiàn)出了強(qiáng)大的適應(yīng)能力。無論是重量還是體積，OptiCentric®UP都能輕松應(yīng)對。

OptiCentric®UP系列中心偏差測量儀通過提供精確的測量和裝配工具，對于確保光刻機(jī)物鏡的高性能和可靠性發(fā)揮著關(guān)鍵作用。

創(chuàng)建時(shí)間：2024-11-19 15:20

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